设备采用先进的触摸屏和PLC集中控制,装有电脑自动换档真空计和三路流量控制器,一套逆变偏压,边装式加热管四支,电脑PID自动控温,两个侧装式平面靶,二套中频电源,因为采用先进的中频电源,所以设备不但可以镀制氮化钛、碳化钛、氧化锆、氧化铬、及钛、镍、铬、铜、金、银等等导电膜层,而且可以控制SIO2等非导电膜层,其不但镀制膜层细腻而且镀制速度非常快,兼有其他镀法的优点,所以是一种性能非常优良的镀膜设备
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